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科技文摘
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歐盟納米壓印光刻技術實現低成本批量生產感應薄膜

來源: 科技部
作者:南皮縣產學研科技成果轉化服務中心
日期: 2014-12-20
【字號

 

納米結構傳感器陣列(NSA),以其在單一檢測裝置有效檢測樣品中分子或分子一部分的大面積多參數傳感優勢,而在制藥業、環保等其它行業得到廣泛應用。但直到目前,其實驗室規模小批量生產導致相對較高的制造成本,一定程度上限制了新興技術在更大范圍內的商業化推廣應用。歐盟第七研發框架計劃(FP7)提供490萬歐元資助,總研發投入690萬歐元,由歐盟6個成員國及聯系國芬蘭(總協調)、英國、德國、荷蘭、奧地利和瑞士,9家企業聯合科技界組成的歐洲PHOTOSENS研發團隊。從2011年2月開始,致力于NSA低成本大規模工業化制造的關鍵技術與生產工藝突破,利用最先進的納米壓印光刻(Nanoimprint Lithography)技術,整合卷到卷(R2R)生產制造工藝,實現了低成本大批量制造生產大面積NSA的工業流程設計和設備樣機開發,奠定了NSA進一步商業化推廣應用的基礎。
         PHOTOSENS研發團隊,整合納米壓印光刻技術、基底納米功能沖壓工藝和R2R生產工藝流程,為規模化制造納米結構裝置和大面積光子結晶化合物感應薄膜,開起了嶄新路徑。研發團隊已成功開發出3種不同類型的全聚合物多參數感應裝置生產制造工藝及設備樣機。例如,應用于環保行業檢測空氣質量的甲醛(Formaldehyde)光子結晶感應裝置;應用于制藥和食品安全行業檢測布洛芬(Ibuprofen)化合物成分的感應裝置;和應用于多行業的靈活嵌入式一次性多參數芯片檢測裝置。
        目前,研發團隊主要聚焦于基于3D打印技術的單模波導感應檢測裝置的生產制造工藝開發,正在進行工藝流程驗證和結構優化。研發團隊已申請數10項發明專利和在國際著名學術刊物上發表9篇高質量論文。

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