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科技前沿
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中國等離子體刻蝕機達到世界先進水平

來源: 科技日報
作者:南皮縣產學研科技成果轉化服務中心
日期: 2017-04-30
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日前,央視財經頻道播出的《感受中國制造》第五集《中國“芯”力量》介紹了中國在半導體設備和半導體原材料上取得的成績和進步。其中,最引人矚目的莫過于中國企業在刻蝕機上取得的成績——16nm刻蝕機實現商業化量產并在客戶的生產線上運行,7-10nm刻蝕機設備可以與世界最前沿技術比肩。

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